采用并聯(lián)結(jié)構(gòu)方式，三軸驅(qū)動共同控制同一平臺，可實(shí)現(xiàn)負(fù)載的精準(zhǔn)定位和移動
TR23軸并聯(lián)運(yùn)動平臺
是我司的特色產(chǎn)品，相比于其他的高端多自由度平臺，我們具有高性價比。
三軸采用并聯(lián)結(jié)構(gòu)，各軸可配置步進(jìn)電機(jī)或者伺服電機(jī)，控制器內(nèi)部特有的控制算法，實(shí)現(xiàn)高精度的控制；
優(yōu)化整體系統(tǒng)的剛性；
平臺中部可有通光孔徑；
適用于：科研、顯微操縱、生物技術(shù)、半導(dǎo)體制造等。
規(guī) 格 | 參 數(shù) |
| Z軸最大行程 | ±5mm |
| Z軸分辨率 | 4.88nm |
| Z軸重復(fù)定位精度 | ±0.2μm |
| 位置穩(wěn)定性 | ±20nm |
| 最大速度 | 5mm/s |
| 最大加速度 | 2m/s |
| θX/θY最大行程 | ±2.5° |
| θ軸分辨率 | 0.15sec |
| θ軸重復(fù)定位精度 | ±1sec |
| 最大速度 | 1°/s |
| 最大加速度 | 20°/s∧2 |
| 配重平衡方式 | 氣動衡力平衡（最小氣壓0.1MPa最大氣壓0.6MPa） |
| 最大負(fù)載 | 20kg |
