采用增量式光柵，精度高
采用交叉導軌，剛度強，高負載，高導向精度
適用于：醫(yī)藥行業(yè), 激光切割, 生物技術, 計量, 激光打標
LMT-XY直線平臺
具有精度高、剛性高、負載大、導向性高；
增量式光柵采用非接觸式安裝，非線性效應、機械作用或彈性形變不會對測量造成影響；
交叉式導軌，減少摩擦，讓運行更平滑，防止蠕變。
| 參 數(shù) | LMT-XY-100*100 | -200*200 |
| 有效行程 mm | 100*100 | 200*200 |
| 光柵分辨率 nm | sin\cos 4.88nm（可選其它更高分辨率） | |
| 重復定位精度 μm | ±0.3 | |
| 定位精度 | ±1μm/100mm | |
| 平面度 μm | 6 | 8 |
| 直線度 μm | 1 | 1.5 |
| 電機類型 | 三相無鐵芯直線電機 | |
| 電機推力 | 持續(xù)40N/峰值90N | 持續(xù)60N/峰值210N |
| 最大速度 m/s | 500mm/s | |
| 最小步長 nm | 10nm（搭配nanopwm或者線性驅(qū)動器） | |
| 最大負載 kg | 15 | 30 |
